Grüner Wasserstoff für die Halbleiterindustrie

"Mit dem Produktionsstart unserer neuen Chipfabrik für Leistungselektronik Anfang August 2021 steigt auch der Bedarf an Wasserstoff für den Fertigungsprozess kontinuierlich", erklärt Thomas Reisinger. Er ist Vorstandsmitglied der Infineon Technologies Austria. In der Chip-Produktion kommen Gase und Chemikalien zum Einsatz − darunter hochreiner Wasserstoff als Prozessgas. Diesen bezieht Infineon bislang für seine großen Standorte in Österreich per Lkw aus Deutschland. Dies soll sich ab Anfang kommenden Jahres ändern.

So haben das Halbleiterunternehmen und der Industriegashersteller Linde den Bau einer Elektrolyseanlage für grünen Wasserstoff vor Ort vereinbart, wie aus einer gemeinsamen Mitteilung vom 18. August hervorgeht. Im Rahmen des Projektes "H2Pioneer" soll die Anlage direkt am Villacher Infineon-Standort ab Anfang kommenden Jahres grünen Wasserstoff erzeugen − pro Tag bis zu 800 Kilogramm Wasserstoff. Der Elektrolyseur soll eine Leistung von 2 MW haben, wie eine Sprecherin gegenüber der Redaktion mitteilte. Die Investitionssumme für die Gesamtanlage liege im mittleren einstelligen Millionenbereich.

Die Elektrolyseanlage basiert auf dem Protonen-Austausch-Membran-Verfahren (PEM). Konstruktion, Bau und Betrieb erfolgt aus einer Hand durch Linde. In einem kryogenen Verfahren will Linde das produzierte Gas aufbereiten, sodass hochreiner Wasserstoff hergestellt werden kann. Darüber hinaus liefert das Unternehmen ein Versorgungssystem, das Flüssigwasserstoff rund um die Uhr für die Produktion der Halbleiter sicherstellen soll.

Hinter H2 Pioneer steht neben Linde und Infineon Technologies Austria auch der österreichische Energieversorger Verbund, der den grünen Strom vorrangig aus Wasserkraft für die Elektrolyse bereitstellen wird. Aus der Forschung unterstützen das Energieinstitut der Johannes Keppler Universität Linz und "HyCentA Research" der Technischen Universität Graz das Projekt. Die Koordinierung obliegt der"Wasserstoffinitiative Vorzeigeregion Austria Power & Gas" (Wiva).